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厦门天马微电子厂务系统
来源:源达科技 | 作者:pmo1e00c1 | 发布时间: 2020-08-20 | 4499 次浏览 | 分享到:
系统概述

       FMCS厂务控制系统设备具有功能多样化、复杂性、分布分散性的特点，因此应针对项目内各设备的功用特点进行自动监测、控制与管理，以提高系统管理效率及降低运行维护费用，从而提升设备的管理水平。

       对全厂动力控制系统（包括冷水系统、冷却水系统、热水系统、热回收水系统、工艺冷却水、工艺真空、清扫真空、压缩空气、天然气、柴油、生活水、空调系统、锅炉系统等）进行自动化集成控制和数据采集监视。整合全厂所有监控系统（包含大宗气体，特气，化学品，超纯水/去离子水，废水处理，洁净室系统等）的网络，并搭建构成一个环网。

系统终端